目前3D领域中，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一，白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。

　　它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

　　除了测量精度优势外，白光干涉测量系统还拥有非接触式无损测量，10mm超高Z向量程，单次4mm大视野FOV扫描范围，支持拼接大范围扫描等领先功能。白光干涉测量系统可以对纳米级加工表面完成如表面粗糙度、台阶高度、平面度、翘曲度、曲率半径和瑕疵缺陷的分析。

　　1.表面粗糙度

　　表面粗糙度是衡量表面质量的关键指标之一，通常包含Sa/Sv/Sp/Sz/Sq等参数。镜面磨削工艺可将样品表面的粗糙度加工至Sa10纳米。

　　2.表面形貌与台阶高度

　　高精度的表面形貌数据不仅可以用于观察样品的表面特性，分析截面和台阶高度，还可支持微观力学行为的分析。

　　3.平面度

　　平面度是评估样品表面与理想平面差距的重要参数之一，通常包含FLTt，FLTp,FLTv和FLTq。

　　4.翘曲度

　　翘曲度反应样品表面的回弹特性，该参数与平面度的概念非常类似，但在计算方法上略有不同。翘曲度的计算通常以样品中心区域高度为基准，分别对样品边缘平均分布的4个，或者6个，或者9个区域进行采样，得到的最大高度差即为翘曲度数值。

　　5.曲率半径

　　曲率半径是光学透镜设计与制造的一个重要参数，使用白光干涉测量系统可以得到透镜的表面形貌，并可计算出曲率半径。

　　6.表面缺陷

　　2D方法很难识别一些高精度表面的缺陷，此时可考虑3D形貌的方式采集并识别缺陷。由于白光干涉仪测量系统在Z方向有0.1nm的分辨率，因此任何细小的缺陷都可以形成3D图像。